各國(guó)潔凈度等級(jí)近似對(duì)照表
潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)
概述 空氣潔凈度等級(jí)(air cleanliness class):潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。 測(cè)試 一、潔凈室的空氣潔凈度,應(yīng)進(jìn)行下列測(cè)試 (一)空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試 空態(tài)測(cè)試:潔凈室已竣工,凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài),室內(nèi)沒(méi)有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。 靜態(tài)測(cè)試:潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài),工藝設(shè)備已安裝,室內(nèi)沒(méi)有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。 (二)動(dòng)態(tài)測(cè)試 潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試。 潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測(cè),可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。 二、空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試 (一)測(cè)試前的準(zhǔn)備 1. 應(yīng)對(duì)潔凈室及其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)進(jìn)行徹底清潔。 2. 采用光散射粒子計(jì)數(shù)器對(duì)高效空氣過(guò)濾器進(jìn)行檢漏測(cè)試。首先測(cè)定高效空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)靜壓箱內(nèi)(或風(fēng)管內(nèi))粒徑大于或等于0.5μm的塵粒數(shù)應(yīng)為大于或等于30,000粒/升。如若不夠,可引入煙霧,然后開(kāi)始檢漏。將粒子計(jì)數(shù)器(或檢漏裝置)的采樣口距離高效空氣過(guò)濾器2-3厘米處,可以2-4厘米/秒的速度移動(dòng),對(duì)高效空氣過(guò)濾器整個(gè)斷面封頭膠處和安裝框架處進(jìn)行掃描。 當(dāng)粒子計(jì)數(shù)器讀數(shù)為空氣口大于或等于0.5μm的塵粒超過(guò)3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認(rèn)為該處有明顯滲漏,必須進(jìn)行堵漏。 (二)測(cè)試內(nèi)容 1. 總送風(fēng)量、總回風(fēng)量、新鮮空氣量、排風(fēng)量等; 2. 潔凈室壓力值; 3. 層流潔凈室斷面風(fēng)速和氣流流向; 4. 潔凈工作區(qū)的潔凈度; 5. 室內(nèi)溫度、濕度及其控制能力的調(diào)整測(cè)試; 6. 潔凈室內(nèi)噪聲。 (三)潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測(cè)試方法 對(duì)于粒徑大于或等于0.5μm的塵粒計(jì)數(shù),宜采用光散射粒子計(jì)數(shù)法,也可采用濾膜顯微鏡計(jì)數(shù)法。 光散射粒子計(jì)數(shù)法: 1. 光散射粒子計(jì)數(shù)器采樣量100級(jí):每次采樣量大于或等于1升。1,000級(jí)-10,000級(jí):每次采樣量大于或等于0.3升。100,000級(jí):每次采樣量大于或等于0.1升。對(duì)于100級(jí)潔凈室,宜采用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試;如果條件不具備時(shí),可采用每次采樣量不小于1升的粒子計(jì)數(shù)器。 2. 采樣注意事項(xiàng): ①采樣管必須干凈,連接處嚴(yán)禁滲漏。 ②采樣管的長(zhǎng)度,應(yīng)根據(jù)儀器的允許長(zhǎng)度。當(dāng)無(wú)規(guī)定時(shí),不宜大于1.5米。 ③采樣管口的流速,宜與潔凈室斷面平均風(fēng)速相接近。測(cè)試人員應(yīng)在采樣口的下風(fēng)側(cè)。 ④采樣順序應(yīng)按含塵濃度從低到高進(jìn)行。 3. 測(cè)點(diǎn)布置: ①檢測(cè)在潔凈工作區(qū)內(nèi)進(jìn)行。當(dāng)生產(chǎn)工藝無(wú)特殊要求時(shí),取樣高度宜為離地面1米。 ②層流潔凈室測(cè)點(diǎn)總數(shù)不小于20點(diǎn),測(cè)點(diǎn)間距為0.5-2.0米,粒徑大于或等于0.5μm的塵粒數(shù)允許有一個(gè)點(diǎn)超過(guò)。水平層流潔凈室測(cè)點(diǎn)僅布置在第一潔凈工作區(qū)內(nèi)。 ③亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)(附圖2)。每增加20-50平方米,增加3-5個(gè)測(cè)點(diǎn)。 4. 數(shù)據(jù)整理: ①每個(gè)測(cè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)整理應(yīng)在測(cè)試儀器穩(wěn)定運(yùn)行的條件下連續(xù)三次采樣,取其平均值,即為該點(diǎn)的實(shí)測(cè)數(shù)值。 ②對(duì)于大于或等于0.5μm的塵粒數(shù)確定:層流潔凈室取各測(cè)定點(diǎn)最大值,亂流潔凈室取各測(cè)點(diǎn)的平均值。 (四)正壓值測(cè)定應(yīng)采用精度可達(dá)0.01毫米水柱的微壓計(jì)。 三、動(dòng)態(tài)測(cè)試 在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測(cè)點(diǎn)的氣流上風(fēng)向進(jìn)行,測(cè)試方法同空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試。
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